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TMC潔凈室試驗臺63-635
全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動隔振工作臺，設(shè)計安裝在地面上，可實現(xiàn)最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供，它還可為光學平臺、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。
TMC潔凈室試驗臺63-635
ClassOne工作站用潤濕酒精的無絨布進行了擦拭，并在出廠前用塑料進行雙層包裹。
Gimbal Piston隔振器
所有CleanBench工作臺均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標準配置。在并排測試中，Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能，即使在極低的輸入激勵水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術(shù)使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷，并能迅速消除隔振臺面的干擾。
優(yōu)點
從2 Hz開始的垂直和水平隔振
在10 Hz時振動減少95％以上
幾乎無摩擦，避免了滾動摩擦向靜摩擦過渡
通過充當萬向節(jié)來調(diào)整水平位移
即使是*低輸入水平，Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性，對典型的低振幅環(huán)境地面振動具有高響應性，而對于嚴重的瞬態(tài)干擾（例如突然的負載變化或頂板撞擊），它可實現(xiàn)非常好的減振效果。結(jié)果表明，Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果，幾乎可以在幾秒鐘內(nèi)消除任何嚴重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對較高重心的隔振系統(tǒng)，而不會影響隔振效果。
低振幅輸入響應
在設(shè)計有效的隔振器時，所遇到的最大挑戰(zhàn)是在周圍建筑地面振動的典型低振動幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通?；趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅８叩摹罢駝优_"上進行的測量。這種輸入振幅約為毫米的測試會導致對性能的估計不切實際，并且具有誤導性，因為結(jié)果不能反映實際使用中的性能。
Gimbal Piston隔振器設(shè)計的*特之處在于即使在最安靜、真實的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關(guān)系，因為設(shè)計幾乎沒有摩擦，因此能夠避免滾動摩擦到靜摩擦過渡。
我們在典型的地面振動水平下測試的所有其他系統(tǒng)要么比聲稱的共振頻率高，要么通過隔振器支架的傳輸大幅增加。
我們強調(diào)性能規(guī)格在低輸入水平的重要性，因為我們在自己的測試和許多使用過的設(shè)備中反復觀察到，在更大的振幅和更高的頻率下更容易實現(xiàn)更好的性能。
水平與垂直輸入
我們創(chuàng)新的隔振器可以充當萬向節(jié)，使薄壁滾動密封膜片能夠適應水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架，而是將載荷放在一個單獨的頂板上，該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內(nèi)的剛性桿。桿的底部有一個支撐在堅硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地搖動（無滑動或滾動），因此，固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平，該方法也非常有效，因為靜摩擦幾乎與滾動摩擦相同。水平運動只是轉(zhuǎn)換為通常的垂直膜片彎曲，但不同相：活塞的一側(cè)向上，另一側(cè)向下，以萬向節(jié)式運動。
其他類型隔振器的局限性
厚壁橡膠膜片。大多數(shù)商用隔振器在活塞中采用廉價的厚壁橡膠膜片來實現(xiàn)垂直隔振。由于這些元件的相對不靈活性，低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統(tǒng)用手感覺起來較“柔軟"，但對于典型的低水平地面振動，橡膠更像是一個剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。
密封氣動隔振器（被動）。密封空氣隔振器不會自動根據(jù)負載變化進行調(diào)整。這種系統(tǒng)的主要局限性在于，它們太硬而不能有效地隔振。例如，一個真正1.5 Hz共振頻率的被動隔振器在負載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時會垂直漂移幾英寸，并且需要不斷的手動調(diào)整。因此，實際密封隔振器并沒有這一設(shè)計的低共振頻率。
軸承滑板。 理論上，軸承滑板可通過其解耦效應實現(xiàn)水平隔振。實際上，如果要讓這種設(shè)計在低振幅下工作，就需要公差很小、經(jīng)過精密磨削的硬化軸承。現(xiàn)有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動。此外，所有這些系統(tǒng)最初都很難對齊，并且很容易偏離校準范圍。
自制組裝。 自制隔振系統(tǒng) - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質(zhì)量的原理，但它們的性能主要通過彈簧剛度來區(qū)分：彈簧越硬，共振頻率越高。因此，自制解決方案受到其高共振頻率的限制。
具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時開始隔振，并可在10 Hz時將振動降低95％以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開始隔振并在30 Hz時將振動減小90％。但是大多數(shù)建筑物地面在5到30 Hz之間表現(xiàn)出最高的振動位移，因此網(wǎng)球或橡膠墊通過放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實際上會使問題變得更加嚴重。
規(guī)格
Isolator natural frequency: High Input
Low Input |
Vertical=1.2Hz Horizontal=1.0Hz Vertical=1.5-2.0Hz Horizontal=1.2-1.7Hz |
Isolation effciency@5Hz | Vertical=70-85% Horizontal=75-90% |
Isolation effciency@10Hz | Vertical=90-97% Horizontal=90-97% |
Recommended payload | 350lb(160kg) |
Finish | Electropolished stainless steel frame,passivated or electropolished stainless steel top |
Facilities required | 80 psi nitrogen or air |
訂購表
帶Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站
工作臺尺寸（深 x 長） | 鈍化不銹鋼頂部 | 電拋光不銹鋼頂部 |
750 x 875毫米 29.5 x 34.5英寸 | 63-631 | 63-635 |
750 x 1175毫米 29.5 x 46.3英寸 | 63-641 | 63-645 |
900 x 1175毫米 35.4 x 46.3英寸 | 63-661 | 63-665 |
900 x 1500毫米 35.4 x 59.0英寸 | 63-671 | 63-675 |
配件 - 所有工作臺尺寸
可伸縮腳輪（一套四個） | 83-015-01 |
配件 - 取決于尺寸
工作臺尺寸 （深 x 長） | 滑動擱板 - 250毫米（1英寸） 圖案：10毫米（0.4英寸） 孔在25毫米（1英寸）中心 | 后支撐桿和安裝夾具1 |
750 x 875毫米 29.5 x 34.5英寸 | 81-312-06 | 81-302-05 |
750 x 1175毫米 29.5 x 46.3英寸 | 81-312-06 | 81-302-06 |
900 x 1175毫米 35.4 x 46.3英寸 | 81-312-07 | 81-302-06 |
900 x 1500毫米 35.4 x 59.0英寸 | 81-312-07 | 81-302-07 |
*定擱板時需要
